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阴极发光是（shì）一种光谱分析方法，通（tōng）过电子束轰击材料产生发光后，用来在局部范围内鉴别材料中的（de）点缺陷和（hé）杂质缺陷（xiàn），应用于微电（diàn）子，半导体材料（liào），绝缘体，地质学和矿物（wù）学（xué）等领域。
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